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用近紅外相機判定芯片是否有斷點

更新時間:2021-05-19 點擊次數:1216
   近紅外相機具有高清晰度、低噪聲等特點,針對760nm~1000nm近紅外波段感應更出色,特別適用于太陽能電池片、電池板檢測,并可應用于其他近紅外波段視覺檢測的項目或行業。
  1、光電子芯片、硅晶圓、半導體激光器巴條EL檢測
  某些生產光電子芯片的公司,生產的光電子芯片,在注入低電流時就會發出近紅外波長的光,但是,如何去判斷這個器件是好的還是壞的,能否達到合格要求呢?這時候就會用到近紅外相機,在注入低電流時,根據光電子芯片表面或者側面的發光情況,就可以判定該芯片是否有斷點、均勻性。硅基晶圓和半導體激光器巴條,在注入電流的時候,也會發光,這樣就可以判斷芯片是否有裂痕、斷線等情況。
  2.IC電路內部檢測
  另外,光具有一定的穿透性,什么是穿透性呢,就是我照射一束光在物體表面,但是光不僅僅停留在表面,也會深入到物體的內部,穿透深度取決于材料,也和照射光的波長有關,一般波長越長,穿透深度越深。
  在某些半導體行業中,就可以用紅外光這種比較好的穿透性,去觀測物體內部結構。例如,生產IC電路的公司,可以用近紅外光去照射IC電路表面,光線可以穿過表面,進入IC電路內部,IC電路內部反射回的光,用近紅外相機去觀測,就可以看到內部是否有裂痕、空鼓等。
  3.倒裝芯片標記點對準檢查
  我們手機、電腦等電子設備中有大量的芯片,這種芯片在結構上并不是一層,而是很多很多層的疊加,例如芯片設計生產中常用的倒裝芯片(FC),芯片面朝下,芯片與基板或芯片與芯片之間,有設置的標記點相互對應,標記點錯位則說明芯片生產沒有達到較為理想狀態。用這種芯片的檢測,同樣可以使用近紅外光進行穿透芯片內部,再用近紅外相機去觀察反射回的光路,就可以看到多層芯片之間是否有位移。
  4.光通訊器件耦合情況判斷
  在光通訊領域,一般使用的激光波長為1550nm和1310nm,正好位于相機的光譜響應波段內,某些應用需要將光從光纖耦合進芯片或光波導的光回路中,從芯片或光波導的另外一端觀察輸出光的形貌及光強度,是圓形光斑還是其他光斑,可以用于判斷耦合情況及計算傳輸損耗。

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