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多波長(zhǎng)橢偏儀(僅需25萬!)

簡(jiǎn)要描述:AUTFS1橢偏儀是利用橢圓偏振的方法對(duì)樣品進(jìn)行光學(xué)表征。在該系統(tǒng)中由偏振態(tài)發(fā)生器(PSG)發(fā)射已知偏振態(tài)的光斜入射到樣品上,然后偏振態(tài)檢測(cè)器(PSD)檢測(cè)反射光的偏振狀態(tài)。多波長(zhǎng)橢偏儀(僅需25萬!)

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2021-06-02
  • 訪  問  量:5987
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詳細(xì)介紹
品牌其他品牌產(chǎn)地類別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,道路/軌道/船舶,航空航天

多波長(zhǎng)橢偏儀(僅需25萬!)

AUTFS1橢偏儀是利用橢圓偏振的方法對(duì)樣品進(jìn)行光學(xué)表征。在該系統(tǒng)中由偏振態(tài)發(fā)生器(PSG)發(fā)射已知偏振態(tài)的光斜入射到樣品上,然后偏振態(tài)檢測(cè)器(PSD)檢測(cè)反射光的偏振狀態(tài)。如下圖所示

由樣品引起的發(fā)射光偏振態(tài)的變化可以由P偏振光和S偏振光的反射率的比值決定。比值為復(fù)數(shù),如下圖所示: 其中tan(Y)定義了P偏振光和S偏振光反射率比值的大小,D定義了P偏振光和S偏振光的相位差。

由于該方法測(cè)量的是一個(gè)比值,因此對(duì)光的強(qiáng)度的變化,以及樣品缺陷造成的散射不敏感,并且在每個(gè)波長(zhǎng)測(cè)量?jī)蓚€(gè)參量可獲得兩個(gè)常量例如:薄膜厚度和折射率,此外D對(duì)薄膜厚度非常敏感,可以使薄膜厚度測(cè)量精度到0埃。

 

上海昊量光電推出的多波長(zhǎng)橢偏儀采用長(zhǎng)壽命的LED光源,可分別提供465nm、525nm、580nm和635nm四種不同波長(zhǎng),并使用無移動(dòng)部件的橢圓偏振檢測(cè)器,緊湊的系統(tǒng)提供快速可靠的薄膜測(cè)量。

通過1秒的測(cè)量可以精確的測(cè)量0-1000nm的大多數(shù)透明薄膜的厚度。并可以獲得n和k等光學(xué)常量。

相比于單波長(zhǎng)橢偏儀,多波長(zhǎng)橢偏儀可測(cè)定薄膜厚度,對(duì)于透明薄膜測(cè)量厚度至少可達(dá)1μm,不存在厚度周期性問題;可確定樣品其它其它參數(shù)特性例如薄膜粗糙度、多層膜厚度等;對(duì)數(shù)據(jù)分析提供檢測(cè)依據(jù),一個(gè)良好的分析模型應(yīng)該適用于不同波長(zhǎng)的數(shù)據(jù);對(duì)于非常薄的薄膜(<20nm)多波長(zhǎng)橢偏儀提供的數(shù)據(jù)信息量可以與光譜橢偏儀相媲美。

應(yīng)用案例:

原位測(cè)量:

                          AUTFS-1 Mounted on Kurt Lesker ALD Chamber                                                              AUT FS-1 Mounted on AJA Sputter Chamber

 

選配件:

1聚焦選項(xiàng):將樣品上的光束縮小至0.8 x 1.9 mm 或0.3 x 0.7 mm

2、聚焦束檢驗(yàn)選項(xiàng)

    3、自動(dòng)成像系統(tǒng)

產(chǎn)品特點(diǎn):

  •  多波長(zhǎng)

  • 橢偏檢測(cè)器中無移動(dòng)部件

  • 優(yōu)異的測(cè)量精度(優(yōu)于0.001nm)

  • 可原位測(cè)量

     

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