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品牌	其他品牌	價格區間	1萬-3萬
產地類別	進口	應用領域	綜合

顯微式激光測振儀

意大利Julight顯微式激光測振儀是一款結合激光測振傳感器和數字顯微鏡的一體化測量系統。激光測振儀被附在顯微鏡的特殊調節架上，邊通濾波鏡主要用以紅外激光和可見激光的反射，然后分別聚焦到測試目標上。濾波鏡能夠傳遞 20%從測試表面上散射回來的光，并且在 cmos 攝像機的傳感器上聚焦。為了能對中方便，顯微鏡裝在一個俯仰、傾斜和旋轉位移臺上。顯微鏡激光測振儀測量測試表面的法向分量的振動。

顯微式激光測振儀主要用于芯片/電力半導體器件/半導體薄膜/MEMS的零部件/電子器件和供電內部連接件/MEMS 加速度傳感器模子的振動模態及結構優化。如：硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS 激光加工、晶片測試、半導體材料、線束加工蝕刻、液晶電池蓋、導線框架等產品的檢測觀察。

顯微式激光測振儀產品參數

顯微式激光測振儀產品特點

■ 頻帶寬蕞高可達35 MHz	■ 單點/二維/三維可選
■ 位移分辨率 10 pm	■ 光斑大小< 4um
■ 蕞大速度 ±40 m/s @3MHz	■ 精度 1%

顯微式激光測振儀實驗場景

顯微式激光測振儀應用

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顯微式激光測振儀

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